关于光电行业洁净室介绍
光电行业是21世纪的领跑行业,但同时它也是一个高风险、高投入的全球化行业。智能手持设备、移动终端、智能手机等已然成为光电行业的风向标,与此相关的光电领域得到了迅猛飞速的发展,化镜头模组、线路板、马达、触摸屏幕等。光电行业的产品具有高安全性、高可靠性、产品开发周期长、技术设计复杂、产品生命周期短等特点。
光电行业,由于其人员密集性,而人员又是洁净室最主要的污染源,所以在设计、人员动向、管理、节能等方面都要做到全面的考量;特别是在液晶面板模组生产过程中,带有尘埃的空气可能将TFT/LCD生产扼杀于摇篮之中。
在IC光电面板产业中,黄光区制程工艺中有光阻涂布、曝光、显影等制程工艺。在涂布工艺过程中会挥发出部分有机物,从制程机台溢出散发到环境中,造成环境中VOCs (Volatile Organic Compounds,称为挥发性有机气体)积聚。尤其是液晶面板产业,近年来随着科技进步迅猛发展,且世代越来越高,对应制程机台尺寸也越来越大,溢出挥发的VOCs对黄光区洁净间环境的影响越来越显著。若黄光区洁净间环境中异味明显,可能影响环境中作业人员的身体健康,同时也对产品品质产生不良影响。VOCs有机物中,主要成分为丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA),约占其中的80%,其他成分还有丙二醇甲醚(PGME)、环己酮(Cyclohexanone)、乙醇(Ethanol)等物质。因此,对其工艺车间内的有机污染物予以有效控制是当前光电产业面临的重要问题,对于洁净间环境的VOCs特性、扩散特性以及对其进行处理研究具有重要意义。在处理光电领域洁净间环境VOCs问题时,需要分析洁净间内部循环系统、VOCs分布的特点,根据环境特性选择合适的处理工艺。
光电光学制品无尘车间一般适用于电子仪器仪表、计算机、半导体厂、汽车工业、航天工业、光刻、微机制造等行业,除了要空气洁净度以外,还要保证达到除静电的要求。以LED行业为例,末端工艺的一-些洁净厂房安装,其净化洁净度一般为千级、 万级或10万级洁净室,背光屏类洁净室安装主要是这类产品的冲压车间、组装等洁净厂房,其洁净度一般为万级或十万级洁净厂房。